Способ и установка для испарения реагентов, используемых для нанесения покрытий химическим осаждением из паровой фазы
Изобретения относятся к способу и устройству для испарения жидких реагентов, используемых в качестве предшественников при нанесении покрытий химическим осаждением из паровой фазы. Жидкие предшественники покрытия непрерывно инжектируют в испарительную камеру, в которой они превращаются в пар. В испарительной камере расположено устройство для распределения жидких предшественников покрытия, которое п...