Способ диффузии при изготовлении полупроводникового тензочувствительного элемента
(57) ТЕКСТ РЕФЕРАТА ОТСУТСТВУЕТ Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при изготовлении полупроводниковых тензочувствительных датчиков физических величин повышенной точности. При изготовлении полупроводниковых тензочувствительных элементов с диффузионными тензорезисторами, соединенными в мостовую схему Уитстона, повышенные требования предъявляются к внутри...