ЧУМАКОВ ЕВЛАМПИЙ АЛЕКСЕЕВИЧ

  Союз Советских Социалистических Республик ОП ИСАНИЕ ИЗОВРЕТЕН ИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (11)551727 (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 10.06.74 (21) 2034116/25 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет (43) Опубликовано 2S.03.77. Бюллетень № 11 (46) Дата опубликования описаиия11.05.77 (51) М. Кл. H01L21/66 Государственный комитет Совета Министров СССР оо...