ЛУКОВКИН ЕВГЕНИЙ КОНСТАНТИНОВИЧ

  1. Оп ИC--АНЙ.,:Е ИЗОБРЕТЕН ИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ " 552185 Союз Советских Социалистических Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 25.07.74 (21) 2046046/12 с присоединением заявки ¹â€” (23) Приоритет— Опубликовано 30.03.77, Бюллетень № 12 Дата опубликования описания 07.07.77 (51) М. Кл. В 26В 19/14 Геоудврственнмй комитет Явовта Министров...

  Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля геометрических параметров полупроводниковых пластин. Цель изобретения - повышение точности, расширение диапазона измерений и обеспечение неразрушающих измерений при контроле толщины. Измеритель содержит датчик касания, привод датчика касания, генератор тактовых импульсов, коммутатор сигналов кали...