Васильков В.Н.

 Использование: технология получения полупроводниковых тонких пленок многокомпонентных твердых растворов контролируемого состава, в том числе эпитаксиальных, из паровой фазы на различных подложках. Сущность изобретения: способ получения тонких пленок многокомпонентных твердых растворов включает осаждение пленки на нагретую подложку из паров шихты. Вначале на подложку в неравновесных услови...