Дирочка А.И.
Изобретатель Дирочка А.И. является автором следующих патентов:
Способ получения тонких пленок многокомпонентных твердых растворов
Использование: технология получения полупроводниковых тонких пленок многокомпонентных твердых растворов контролируемого состава, в том числе эпитаксиальных, из паровой фазы на различных подложках. Сущность изобретения: способ получения тонких пленок многокомпонентных твердых растворов включает осаждение пленки на нагретую подложку из паров шихты. Вначале на подложку в неравновесных услови...
2156518