МАРКЕЛОВА ГАЛИНА НИКОЛАЕВНА

  » 56528I QA ИГРАНИ Е ИЗОБРЕТЕН ИЯ К АВТОРСКОМУ СВИД1:ТЕДЬСТВУ Союз Советских Социалистических Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) 3 ая влево 24.04.75 (21) 2127668/24 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет— (43) Опубликована 15.07.77, Бюллетень № 26 (45) Дата опубликования описания 20.10.77 (51) Ч Кл G 05B 11/12 Государственный комитет Савета Министров...

  ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТфЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Республик (i i! 56623 (6!)Цополнительное к авт. свил-ву(22) Заявлено04.07.75 (21) 2151978/24 (51) М. Кл. С 05 В 6/02 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет (43) Опубликовано25.07.77.Бк1ллетень М 27 (45) Яата опубликования описания 09.09.77 государственный комитет Совета Министров СССР по...

  Союз Соаетсиик Социалистическии Республик ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСК©МУ СВИ ВТИДЬСТВУ 883861 (61) Дополнительное к авт. саид-ву (5!)м. коз (22) Заявлено 14. 01. 80 (2! ) 2895996/18-24 с присоединением заявки М (23) Приоритет G 05 В 5/01 Государственный комитет СССР ио делам изобретений и открытий Опубликовано 23.1181. Бюллетень М 43 Дата опубликования описания 23. 11. 81...

  Союз Советских Социапнстнческнх Республик О П И С А Н И K ()894665 ИЗОБРЕТЕН ИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к аат. саид-ву(22) Заявлено 01. 03. 79 (21) 2730928/18-24 с присоединением заявки М— (23) Приоритет— (5 3 ) M. Кл. G 05 В 5/Ol Государственный коинтет СССР ll0 делен нэабретеннй н открытнй Опубликовано 30. 12. 81. Бвллетень Ме 48 {53) УДК 62-50...

  Использование: в технологии полупроводниковых приборов, в частности в способах контроля процессов ионного травления пленок. Сущность изобретения: облучают пленку ультрафиолетовым излучением. Регистрируют зависимость изменения фотото- .ка от времени травления, по виду которой определяют момент окончания процесса. 2 ил. -. -.. „„Ы2„„1806419 А3 СОЮЗ СОВЕТСКИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ...