ШТЕИН ЗАХАР ШУЛИМОВИЧ

  О П И С А Н И Е 1 ц 572863 ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву 444277 (22) Заявлено 04.01.76 (21) 2309028/25 с присоединением заявки № (23) Приоритет Опубликовано 15.09.77. Бюллетень № 34 Дата опубликования описания 20.09.77 (51) М, Кл Н 01L 21/68 Государственный комитет Совета Министров СССР l10...