ФЕДЧУК АЛЕКСАНДР ПЕТРОВИЧ

  ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Республик (11) 575550 (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) 3ая влево 12. 07.7 3 (21)1 847 537/ 6; 5 (51) М. Кл. ф 01 g 25/00// G 01 N 31/10 с присоединением заявки № Государственный комнтет Соаета Инннстроа СССР по делам нзооретеннй н аткрытнй (23) Приоритет (43) Опубликовано 05 10.77 Бюлл...

  Изобретение касается исследования полупроводниковых материалов, в частности исследования физических свойств поверхности, и может быть использовано при выращивании эпитаксиальных слоев. Целью изобретения является повышение производительности определения за счет интегрального определения симметрии поверхности в процессе однократного цикла измерений. На пластину 11 полупроводника нан...