Треланс О. ЭДДИ (US)

 Способ используется преимущественно для стерилизации изделий. Изделия, подлежащие стерилизации, помещают в изолированную камеру и камеру вакуумируют. Плазма частиц остаточного газа генерируется в камере в течение начальной стадии вакуумирования. Это облегчает сушку изделий и преимущественно позволяет быстро достичь требуемого давления, чем без плазмы. В камеру инжектируют стерилизующий га...