Никитинский В.А.

 (19)SU(11)581741(13)A3(51)  МПК 6    H01J27/02(12) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯк патентуСтатус: по данным на 07.12.2012 - прекратил действиеПошлина: (54) ИСТОЧНИК ИОНОВ Изобретение относится к устройствам для получения интенсивных пучков ионов большой площади поперечного сечения произвольной формы с равномерным распределением плотности тока по сечению пучка, которые...

 (19)SU(11)728573(13)A3(51)  МПК 6    H01J3/02(12) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯк патентуСтатус: по данным на 17.12.2012 - прекратил действиеПошлина: (54) ПЛАЗМЕННЫЙ ИСТОЧНИК ЭЛЕКТРОНОВ Изобретение относится к области разрядных приборов электронной техники, в частности к плазменным источникам электронов, и может быть использовано для различных технологических операций...

 Плазменный источник электронов, содержащий катод, промежуточный электрод с контрагирующим отверстием, анод, управляющий и ускоряющий электроды, отличающийся тем, что, с целью стабилизации тока пучка электронов и повышения электрической прочности ускоряющего промежутка, на поверхности промежуточного электрода, обращенной к катоду, выполнен кольцевой выступ, при этом промежуточный электрод...

 Газоразрядная электронно-лучевая пушка, содержащая корпус с закрепленными на ней высоковольтным изолятором с плазменным эмиттером и ускоряющим электродом, натекатель плазмообразующего газа, газопровод, соединяющий натекатель с плазменным эмиттером, выполненный из диэлектрического материала, отличающийся тем, что, с целью повышения электрической прочности и уменьшения габаритов пушки, она...

 Электронно-лучевая пушка, содержащая катод, анод, разделительную диафрагму с центральным отверстием, отделяющую внутренний объем пушки от рабочей камеры, и систему откачки, отличающаяся тем, что, с целью увеличения электрической прочности путем уменьшения количества газов, попадающих во внутренний объем пушки, она снабжена двумя дополнительными диафрагмами с центральными отверстиями и ист...

 Газоразрядная электронно-лучевая пушка по авт. св. N 824567, отличающаяся тем, что, с целью повышения электрической прочности пушки, в винтовой канавке диэлектрического стержня уложена диэлектрическая капиллярная трубка, соединенная вакуумно-плотно с разрядной камерой и штуцером, а объем винтовой канавки, не занятый капиллярной трубкой, заполнен диэлектриком. Настоящее изобретение относит...

 (19)SU(11)1210607(13)A1(51)  МПК 6    H01J37/08, H01J27/04(12) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯк авторскому свидетельствуСтатус: по данным на 17.01.2013 - прекратил действиеПошлина: (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИОННО-ЛУЧЕВОЙ ОБРАБОТКИ Изобретение относится к устройствам для получения ионных пучков с большим поперечным сечением и может быть использовано для различных технологическ...

 (19)SU(11)1245152(13)A2(51)  МПК 6    H01J27/04(12) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯк авторскому свидетельствуСтатус: по данным на 17.01.2013 - прекратил действиеПошлина: (54) ИСТОЧНИК ИОНОВ Изобретение относится к устройствам для получения нейтрализованных пучков ионов различных газов, включая химически активные, и может быть использовано для различных технологических о...

 Изобретение относится к устройствам для получения интенсивных ленточных пучков ионов металлов, включая тугоплавкие, их сплавов, и может быть использовано для технологических целей (ионная имплантация, осаждение пленок заданного материала в вакууме и т.д.) и научных исследований. Целью изобретения является получение ленточных пучков тугоплавких металлов с высоким коэффициентом использовани...

 Изобретение относится к устройствам для получения моноэнергетичных интенсивных пучков ионов различных газов, в том числе активных, и может быть использовано для различных технологических операций в вакууме (травление подложек, нанесение пленок, легирование и т.д.), а также для научных экспериментов. Целью является увеличение срока службы и повышение электрической экономичности источника и...

  Изобретение относится к газоразрядным технологическим установкам и может быть использовано для обработки материалов в вакууме. Целью изобретения является упрощение системы электропитания. Источник содержит полый катод 1 с эмиссионным каналом 2. Вспомагательная камера 4 содержит диск 6, образующий с катодом 1 кольцевую щель. Вспомогательный тлеющий разряд зажигают между анодом 8 и камерой...

 Изобретение относится к технологическим газоразрядным источникам заряженных частиц. Цель изобретения - увеличение эффективности извлечения и равномерности распределения плотности тока по сечению пучка. Источник заряженных частиц содержит катод, промежуточный электрод с отверстием, соосным с катодом, анод, эмиссионный и ускоряющий многоапертурные соосные электроды. В стенке промежуточного...

 Изобретение предназначенное для получения интенсивных пучков газов и может быть использовано для ионнолучевой технологии в вакууме. Цель - увеличение электрической экономичности и эффективности источника путем снижения расхода газа для запуска источника и увеличения площади эмиссионной поверхности с равномерным распределением плотности тока ионов. Для этого стенка с контрагирующим отверст...

  Использование: газоразрядные технологические устройства для обработки материалов в вакууме. Сущность изобретения: полый катод источника заряженных частиц установлен по вспомогательной камере. Со стороны торцевой поверхности катода, обращенной к аноду, установлен диск, образующий с катодом кольцевую щель. Площадь щели на два порядка меньше площади внутренней поверхности вспомогательной ка...

  Использование: газоразрядные устройства для получения интенсивных пучков ионов различных газов, включая активные, используемых для технологических операций на базе ионно-лучевой обработки материалов в вакууме. Сущность изобретения: источник ионов содержит полые анод и катод с соосными щелевыми апертурами в обращенных друг к другу торцевых стенках. Магнитная система, состоящая из двух пос...

 Изобретение относится к устройствам для получения моноэнергетических интенсивных пучков ионов различных газов, в том числе активных, и может быть использовано для различных технологических операций в вакууме (травление подложек, нанесение пленок, легирование и т.д.). Целью изобретения является увеличение срока службы и повышение электрической экономичности источника ионов на основе разряд...