ЛОБАНОВ АЛЕКСЕЙ НИКОЛАЕВИЧ

  588470 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 15.07.76 (21) 2384050/18-10 с присоединением заявки Ке (23) Приоритет (43) Опубликовано 15.01.78. Бюллетень Ra 2 (45) Дата опубликования описания 01.02.78 M. Кл G 01C 11/26 Госудаостаенний иомите < Совета Министров СССР ло делам изо...

  Изобретение относится к ионно-плазменной технологии, а более точно - к установкам для ионно-лучевой обработки поверхности деталей в вакууме. Сущность изобретения заключена в следующем В об ласти закрепления детали в вакуумной камере создается зона торможения ионов потока встречным по отношению к скорости ионов электрическим полем вблизи обрабатываемой поверхности детали. Устройст...