СУХАНОВ НИКОЛАЙ МЕФОДИЕВИЧ

  ОП ИСАН И Е ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (11) 588579 Союз Советских Социалистических Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 13.01.75 (21) 2096146/18-25 с присоединением заявки № (23) Приоритет (43) Опубликовано 15,01.78. Бюллетень № 2 (45) Дата опубликования описания 24.01.78 (51) М. Кл з Н 01L 21/205 Государственный комитет Совета Министров СССР...