ХАНЗЕЛЬМАНН Барбара (CH)

Изобретение относится к установке и способу плазменной вакуумной обработки. Обработку проводят в вакуумной камере (1), в которой размещены устройство для генерирования электрического низковольтного дугового разряда (15) (НВДР), носитель (7) изделия для приема и перемещения изделий (2) и по меньшей мере один ввод (8) для инертного и/или реакционного газа. НВДР состоит из катода (10) и анода (13),...