ФИАККАБРИНО Жан-Шарль (CH)

Изобретение относится к способу изготовления составного микромеханического компонента, сочетающему процессы глубокого реактивного ионного травления и литографии, гальванопластики и формования. Сущность изобретения: способ изготовления составного микромеханического компонента из кремния и металла включает следующие этапы: подготовку подложки, включающей верхний и нижний слои кремния, между которым...

Изобретение относится к области гальванопластики и может быть использовано для изготовления деталей с биметаллической микроструктурой. Способ содержит следующие этапы: готовят подложку, на проводящую сторону которой наносят слой фоточувствительной смолы, слой смолы облучают через трафарет с контуром требуемой микроструктуры, необлученные зоны смолы растворяют и придают электрическую проводимость...

Изобретение относится к способу изготовления многослойной металлической структуры с помощью ультрафиолетовой литографии и гальванического осаждения. Согласно способу проводящую поверхность подложки покрывают первым слоем фоточувствительной смолы и обрабатывают с помощью излучения через маску, которая согласуется с требуемой фасонной выемкой. В результате проявления первого слоя получают первый у...