Аксенова Ольга Владимировна (RU)
Изобретатель Аксенова Ольга Владимировна (RU) является автором следующих патентов:
Способ изготовления кварцевых кристаллических элементов z-среза
Использование: область микроэлектроники, способы изготовления кристаллических элементов (КЭ) пьезоэлектрических приборов. Повышение точности формирования объемной микроструктуры и качества поверхности кварцевого элемента является техническим результатом изобретения. Способ изготовления КЭ Z-среза включает механическую и химическую очистку кварцевой пластины, нанесение защитных металлизированных с...
2475950Устройство для нанесения фоторезиста методом центрифугирования
Изобретение относится к оборудованию для электронной промышленности, а именно к оборудованию для нанесения фоторезиста на подложки методом центрифугирования. Технический результат - уменьшение времени изготовления и увеличение выхода годных изделий - достигается тем, что устройство для нанесения фоторезиста содержит защитный корпус с крышкой, держатель подложек, гайки, вал центрифуги. Защитный к...
2509390