ЭНДИШ Дэнис (US)

Микроэлектромеханическое устройство (800) содержит подложку (20), содержащую верхнюю поверхность (88), подвижный элемент (810), расположенный сверху подложки (20), и активирующий электрод (82). Подвижный элемент (810) содержит деформируемый слой (34) и отражающий элемент (814), механически соединенный с деформируемым слоем (34). Отражающий элемент (814) содержит отражающую поверхность (92). Актив...