Тупицина Е.В.
Изобретатель Тупицина Е.В. является автором следующих патентов:
Способ получения пиролитического нитрида бора
Изобретение может быть использовано при получении полупроводников. В реактор помещают борсодержащую шихту, например аморфный бор, карбид бора или отходы нитрида бора. Нагревают до 1800 - 2000°С. Подают BF3 через борсодержащую шихту. BF3 обогащается низшими фторидами бора. В камеру осаждения помещают подложку, нагревают до 1750 - 2000oC, вакуумируют до остаточного давления 1-5 мм рт.ст. Об...
2160224
Пиролитический ромбоэдрический нитрид бора и способ его получения
Изобретение относится к тугоплавким соединениям, а именно пиролитическому ромбоэдрическому нитриду бора и технологии его получения методом химического осаждения из газовой фазы. Пиролитический ромбоэдрический нитрид бора используется для изготовления различных деталей (стержней-теплоотводов, окон вывода энергии) для приборов СВЧ. Технический результат - получение высокоориентированного пи...
2167224
Способ изготовления пластин и/или листов фольги анизотропного пиролитического нитрида бора, лист фольги, изготовленный этим способом, изделие из анизотропного пиролитического нитрида бора в виде пакета пластин и/или листов фольги и способ его получения
Изобретение относится к технологии изготовления изделий из высокотемпературных диэлектрических, электроизоляционных материалов и технологии их получения методом химического осаждения из газовой фазы для изготовления различных деталей для СВЧ-техники и интегральных микросхем. Сущность изобретения: пластины и/или листы фольги нитрида бора получают путем образования на подложке в реакторе па...
2179204