КИТАЕВ Е.М.

  СПОСОБ ПОЛУ^ГЕНИЯ ЗАЩИТНЫХ ПЛЕНОК на поверхности р-п-перехо-дов окислением моносилана -или моноси— лана и одного компонента из группы гидридов бора, фосфора, мьшьяка, сурьмы кислородом в атмосфере инерт^- ного газа, отличающийся тем, что, с целью упрощения процесса нанесения защитных покрытий на приборе с легкоплавкими.узлами при сохранении первоначальных параметров, окисление вед...