БОРИСОВ ВАЛЕНТИН ВЛАДИМИРОВИЧ

  О П И С--M4334, E ИЗОБРЕТЕНИЯ Сфюз Соаетскнк Соцналнстнческик Республик (11) б27392 К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. саид-ву— (22) Заявлено 220277 (21) 2454390/25-28 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет (43) Опубликовано0510 8 Бюллетень № 37 (45) Дата опубликования описания180878 (51) М. Кл. 01 /1/ 27/82 Государственный комитет Совета Министров...

  Союз Советских Социалистических Республик ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИ ЕТВЛЬСТВУ (1)868558 (61) Дополнительное к авт. свид- ву(22) Заявлено 10D180 (21) 2889722/25-28 с присоединением заявки Ио (23) Приоритет Опубликовано 300981. Бюллетень ЙЯ 36 Дата опубликования описания 300981 (51)М. Кл.з G 01 N 27/90 G 01 В 7/06 Государственный комитет СССР ио делам изобретени...

  Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для измерения тонкопленочных структур , где качество изделия определяется толщиной нанесенного слоя. Целью изобретения является измерение тонких пленок без их разрушения или изменения физико-химических свойств. Исследуемый образец перед регистрацией экзоэлектронной эмиссии (ЭЗЭ) облучают потоком электронов и отжигают ,...

  Изобретение может быть использовано в приборостроении, микроэлектронике , радиоэлектронике для контроля качества поверхности материалов. Устройство для измерения поверхностного потенциала содержит вакуумную камеру 1, в которой размещены катод 2 из вольфрама, формирующий элемент 3, источник 4 постоянного напряжения и образец 5, электрометрический усилитель 6, аналого-частотный пре...