Слепцов В.В.(RU)

 Изобретение относится к вакуумной ионно-плазменной технологии обработки поверхности твердого тела и предназначено для улучшения и придания требуемых электрофизических, химических и механических свойств поверхности изделий из металлов и сплавов, полупроводников, диэлектриков, сверхпроводников и других материалов. В рабочей камере устанавливают обрабатываемую деталь, создают вакуум, в газор...