Тугарев В.А.(RU)

 Предлагаемый способ осаждения вещества на поверхность подложки относится к области осаждения пленок на подложки, в том числе к способам осаждения однородных алмазных пленок на подложки большой площади. Предлагаемый способ заключается в том, что из генерируемой плазмы через выполненную в плоском аноде, по крайней мере, одну щель, на подложку, расположенную под анодом параллельно ему, осуще...