САРКИСЯН В.С.

  УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВЫЯВЛЕНИЯ ДЕФЕКТОВ ПОВЕРХНОСТИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ, включающее сканирующее устройство и усилитель, о тл ичающе'еся тем, что, с* целью повьанения эффективности и качества выявления дефектов, перед , сканирующим устройством установлена электрооптическая ячейка, ^ за сканирующим устройством - расщепитель падающего луча на ввдеои зондирующий лучи, имеющий две сое...

  СКАНИРУКЩИЙ ЛАЗЕРНЫЙ МИКРО СКОП для выявления дефектов полупро водниковых структур, содержащий лазер и установленные последовательно по ходу излучения сканер, микроопти ку и электронный блок;,Ьключающий ус литель фотоответа и электронно-лзгче трубку, отличающийся тем, что, с целью расширения диагностических возможностей, в него дополнительно введены второй лазер. 6 7 поляризацион...