ГОРЮНОВ Н.Н.

  УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВЫЯВЛЕНИЯ ДЕФЕКТОВ ПОВЕРХНОСТИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ, включающее сканирующее устройство и усилитель, о тл ичающе'еся тем, что, с* целью повьанения эффективности и качества выявления дефектов, перед , сканирующим устройством установлена электрооптическая ячейка, ^ за сканирующим устройством - расщепитель падающего луча на ввдеои зондирующий лучи, имеющий две сое...