ЧИШКО В.Ф.

  ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ!! 1! 631014 Союз Советских Социал11стических Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлен! 02.06.76 (21) 2367947, 18-25 с присоединением заявки М (23) Приоритет (43) Опуоликоваио 15.05,82. Бюллетсиь М 18 (45) Дата опубликования описания 15.05.82 (51) М. Кг!.з Н 01L 21,!46 Государственный комитет (53) УД1(621.382 (08...