ЛОСЕВ В.В.

  (! !) 6442У2 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ИЯ К АВТОРСКОМУ СВКДЕТЕЛЬСТВУ Веее Ьветем Социалистических Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 02.08.76 (21) 2394149/23-26 (51) М. Кл, С 25 B 11/10 с присоединением заявки №вЂ” Государствеиный комитет СССР пе делам изобретений и открытий (23) Приоритет Опубликовано 30.08.82. Бюллетень № 32 Дата опубликования описани...

  СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МДП ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ, включающий стравливание нитридной маски и акисного подслоя с активных областей МДП интегральных схем и формирование подзатворного окисла, отличающийс я тем, что, с целью повышения процента выхода годных схем путем устранения низковольтных пробоев подзатворного окисла, перед формированием подзатворного окисла проводят дополнительную обраб...