КОЗЛЕНКОВ В.П.

  1. СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК ПРИ ПОМОЩИ' ОПТИЧЕСКОГО КВАНТОВОГО ГЕНЕРАТОРА, основанный на распылении вещества под действием лазерного излучения, сфокусированного на' поверхность мишени, и конденсировании этого вещества на поверхность подложки, отличающийсяте^м, что, с целью получения легированных эпитаксиальных пленок, в процессе распьшения основного вещества испаряют легирую...

  СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ДВУХСЛОЙ- ! НЫХ СТРУКТУР НА ОСНОВЕ СПЛОШНЫХ СВЕРХТОНКИХ ПЛЕНОК, включающий нанесение в вакууме основного слоя толщиной, меньшей критической толщины сплошности, и нанесение дополнительного слоя, отличающийся тем, что, с целью повышения качества сверхтонких пленок, дополнительный слой наносят через промежуток времени, меньший времени морфологической релаксации перво...