PatentDB.ru — поиск по патентным документам

КОЗЛЕНКОВ В.П.

Изобретатель КОЗЛЕНКОВ В.П. является автором следующих патентов:

Способ получения тонких пленок при помощи оптического квантового генератора

Способ получения тонких пленок при помощи оптического квантового генератора

  1. СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК ПРИ ПОМОЩИ' ОПТИЧЕСКОГО КВАНТОВОГО ГЕНЕРАТОРА, основанный на распылении вещества под действием лазерного излучения, сфокусированного на' поверхность мишени, и конденсировании этого вещества на поверхность подложки, отличающийсяте^м, что, с целью получения легированных эпитаксиальных пленок, в процессе распьшения основного вещества испаряют легирую...

646578

Способ получения двухслойных структур на основе сплошных сверхтонких пленок

Способ получения двухслойных структур на основе сплошных сверхтонких пленок

  СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ДВУХСЛОЙ- ! НЫХ СТРУКТУР НА ОСНОВЕ СПЛОШНЫХ СВЕРХТОНКИХ ПЛЕНОК, включающий нанесение в вакууме основного слоя толщиной, меньшей критической толщины сплошности, и нанесение дополнительного слоя, отличающийся тем, что, с целью повышения качества сверхтонких пленок, дополнительный слой наносят через промежуток времени, меньший времени морфологической релаксации перво...

717926