ФАХРУТДИНОВ ЭЛЬМАС ГУМЕРОВИЧ

  { I l } ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз Советских Социалистических Республик к лвтоескомю свидетельствю (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 04.01. 76 (21) 2305856/25-06 (51) М. Кл. F 28 В 1/02 2R В 9/OP Р 04 В 37/08 с присоединением заявки № (23) Приоритет Гавударстеенный кемктет СССР ка делам кзебретеккй я еткрмткй (53) УДК 621.175: :621.528.1 (0R8.R ) Опубликовано 15.02.7В...

  Союз Советских Социалистических Республик ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ оо764736 К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид»ву Р 460072 (5!)М, Кл,з (22) Заявлено 07.07.78 (21) 2640914/23-05 В 05 В 17/06 с присоединением заявки Ио Гоаударствеииый комитет СССР по делам изобретений и откррытий (23) Приоритет Опубликовано 230980. Бюллетень Но 35 (53) УДК 66. 069. .83(088.8...

  Изобретение относится к вакуумной технике. Цель изобретения - повышение надежности , упрощение конструкции и сокращение энергозатрат. Высоковакуумная установка содержит откачиваемую камеру 1, подключенные к ней форвакуумный 2 и высоковакуумный 3 насосы, высоковакуум/ ный затвор 4 с запорным органом 5 и приводом , размещенные между камерой 1 и высоковакуумным насосом 3. Причем при...

  Изобретение относится к области вакуумной техники и может быть использовано для очистки подложки перед напылением. Сущность изобретения: источник плазмы представляет собой гребенчато расположенные электроды, изготовленные из трубок , расположенных перпендикулярно относительно горизонтальной трубки и имеющие скосы, расположенные симметрично, где электрод тлеющего разряда имеет вер...