Иво А. МИЛЛЕР (US)

 Изобретение относится к устройству для плазменной обработки полупроводниковых пластин, а более конкретно - к устройству для зажима электрода, в котором электрод упруго зажимают в опорном узле. Данное устройство состоит из опорного элемента, имеющего нижнюю поверхность, обращенную к пластине, которую будут обрабатывать в реакционной камере электрода, имеющего нижнюю поверхность, обращенную...