ЧЕКАНОВ В.Н.

  Способ создания в кремнии слоев П-типа проводимости, включающий бомь'» бардировку протонами исходного крем,- ния и последую[ций отжиг, отличающийся тем, что, с целью увеличения радиационной стойкости полученных слоев и обеспечения их пространственной устойчивости при различных температурах, бомбардировку проводят с энергиями не ниже 500 кэВ до концентраций в слое 10 10^° с...