Гребенкин О.М.

 Использование: при изготовлении полупроводниковых приборов, а также в машиностроении. Сущность изобретения: устройство состоит из корпуса, который содержит центральную - цилиндрическую и периферийную - кольцевую пневматические камеры, разделенные цилиндрической перегородкой, сообщающиеся с магистралями подачи сжатого воздуха через регулируемые пневмоклапаны, которые соединены с устройство...

 Использование: при изготовлении полупроводниковых приборов, а также в машиностроении. Сущность изобретения: корпус устройства для снятия фаски содержит центральную - цилиндрическую и периферийную - кольцевую пневматические камеры, разделенные цилиндрической перегородкой, сообщающиеся с магистралью подачи сжатого воздуха, привод вращения пластины выполнен в виде усеченного конического гнез...

 Изобретение может быть использовано при изготовлении полупроводниковых приборов, а также в машиностроении. Устройство состоит из корпуса, выполненного в виде цилиндра с центральным отверстием, диаметр которого больше диаметра обрабатываемых пластин. В корпусе предусмотрены внутренняя, средняя и периферийная концентрические кольцевые пневматические камеры, закрытые сверху круглой крышкой....

 Изобретение относится к машиностроению и может быть использовано при изготовлении полупроводниковых приборов. Устройство для шлифования состоит из корпуса, содержащего центральную - цилиндрическую, среднюю и периферийную - кольцевые пневматические камеры, разделенные цилиндрическими перегородками и сообщающиеся с магистралями подачи сжатого воздуха. Привод вращения пластины выполнен в вид...