ХОМУТОВ ЭДУАРД ФЕДОРОВИЧ

  ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ (1 i) 654852 ) Союз Советския Социалистических Республик К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 10.01.77 (21) 2441642/18-28 с присоединением заявки № (23) Приоритет (43) Опубликовано 30.03.79. Бюллетень № 12 (45) Дата опубликования описания 30.03.79 (51) Я. Кл.с G 01 В 11/30 G 01 Х 21/32 G 02 В 21/00 Гасударственный...

  Изобретение относится к технологическому оборудованию для изготовления фотошаблонов в микроэлектронном производстве. Цель изобретения увеличение выхода годных фотооригиналов . Средство 23 защиты сменного Ч Ч (Л О 00 4 СО СОЮЗ СОВЕТСКИ)(,СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЛИК (51) 4 G 03 В 27/12 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 13 . „.13 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР ПО...