ДЭВИД ЛЕСЛИ ГРИНЭВЕЙ
Изобретатель ДЭВИД ЛЕСЛИ ГРИНЭВЕЙ является автором следующих патентов:
Способ фотолитографии
ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ИЯ Союа Советских Социалистических Республик « 656555 Ю ПАТЕНТУ (61) Дополнительный к патенту— (22) Заявлено 19,05.71 (21) 165?451/18-21 р.) м.к ., (23) Приоритет — (32) G 03 В 27/02 (31) (33) Гвсудврстаеннмй юатет СССР на делам нзобретеннй и юткрытнй (53) УДК 621.382.,002 (088.8) Опубликовано 05.04.79. Бюллетень ¹ 13 Дата опубликования опнсання Оэ....
656555