ВИЛЯНОВ МИХАИЛ ЕФИМОВИЧ

  ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (ц 676918 Союз Советских Социалистических Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 12.04.76 (21) 2348816/18-10 с присоединением заявки № (23) Приоритет (51) М Кч G 02В 27/18 Государственный комитет (43) Опубликовано 30.06.79. Бюллетень ¹ 24 (53) УДК 535.881 (088.8) по делам изобретении и открытий (45) Дата оп...

  Изобретение относится к измерительной технике, в частности к контролю формы объектов и рисунка на ни У-стройство позволяет повысить точность измерения фотошаблонов и полупроводниковых плат с различным качеством рисунков за счет изменения угла падения зондирующего пучка. Дпя этого устройство содержит дефлектор, установленный между конденсором и держателем объекта и выполненный из...