КОЛЯДА ВАЛЕРИЙ МИХАЙЛОВИЧ

  ОП ИСАНИ ИЗОБРЕТЕН ИЯ ЕСоюз Соввтсимх Соцмапистичвских Рвспубпми К %STOP CNOhhV СВИДЕТЮЛЬСТ8У (61)Дополнительное к авт. свнд-ву(22) Заявлено17.05.77 (21) 2486821/18»24 с присоединением заявки № (23) Приоритет (51) М. Кл Q 06 Р 15/20 Гееудврстввннмх хенхтвт СССР в двлам извбрвтвхий N OTKPlNlNM Опубликовано 15.07.79.Бюллетень №26 (53) УДК 681.325 (088.8 ) Дата опубликования оп...

  СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ КОЭФ-Ф:ИЦИЕНТОВ ВТОРИЧНОЙ ИОННО-ИОННОЙ ЭМИССИИ КОМПОНЕНТ ОБРАЗЦА ИЗ ПОЛУПРОВОДНИКОВОГО МАТЕРИА ЛА, в котором производят ионную и температурную очистку поверхности образца в условиях высокого вакуума, напускают активный по отношению к поверхности образца газ и измеряют токи первичных и вторичных ионов, отличающийся тем, что, с целью повышения точности и воспроиз...

  СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ОТНОСИТЕЛБНОГО ЗНАЧЕНИЯ КОЭФФИЦИЕНТОВ ВТОРИЧНОЙ ИОННО-ИОННОЙ эмиссии КОМПОНЕНТ ПОВЕРХНОСТИ ТВЕРДБ1Х ТЕЛ, заключающийся в проведении ионного легирования твердого тела, распылении его первичным пучком ионов и масс-анализе возникающих при этом токов вторичных ионов исследуемых и легированной компонент и вычисления отнощений первых .к второму при постоянном значени...

  Изобретение относится к области масс-спектрометрии вторичных ионов и может быть использовано для концентрационных распределений элементов по глубине в массивных объектах и тонких пленках, а также для изучения диффузионных процессов. Цель изобретения - повышение точности послойного анализа. Образцы из твер-: дых веществ, например окиси кремния и монокристаллического кремния, подве...

  Изобретение относится к массспектрометрии вторичных ионов. Цепь изобретения - повышение Точности и воспроизводимости измерений козффициентов вторичной ионной эмиссии компонентов образца. Образец, например техническое железо, содержащее Clr, .V и Zrt , помещают в ваку- ,.умную камеру. Камеру откачивают до давления , и очищают поверхность образца ионным пучком с энергией 5 кэВ и то...

  Изобретение относится к массспектрометрии вторичных ионов и может быть использовано для элементного и фазового послойного анализа твердьк веществ. Цепь изобретения - повышение точности количественного послойного анализа, достигается благодаря тому, что твердое вещество бомбардируют и распыляют двумя пучками первичных ионов. При этом коэффициент распьшения одного пучка меньше един...

  Изобретение может быть использовано для элементного, изотопного и фазового анализа твердых веществ. Цель изобретения - повышение точности анализа. Образец, например чистую медь, бомбардируют в вакуумной камере пучком первичных ионов аргона с энергией 5 кэВ, получаемые вторичные ионы меди и ее примеси анализируют на масс-анализаторе. Кроме того, образец дополнительно: бомбардируют...

  Изобретение относится к области масс-спектрометрии вторичных ионов. Цель изобретения - повышение точности послойного анализа твердых веществ . Железо и кремний испаряли в вакуумной камере в присутствии кислорода давлением . Полученный многослойный образец с толщиной каждого слоя 200-50 атомных слоев бомбардировали первичными ионами Аг с энергией кэВ. Вторичные ионы Fe регистриров...

  Изобретение относится к массспектрометрии вторичных ионов. Может быть использовано для элементного и фазового анализа твердых ветцеств. Целью .изобретения является повьшение точности анализа. Способ предусматривает легирование твердого вещества (ТВ) известным количеством заданного элемента, бомбардировку его пучком первичных ионов, масс-анализ и регистрацию потоков вторичных ионо...