Киреев В.Ю.

 Использование: область производства микроэлектронных приборов. Сущность изобретения: плазмохимический реактор баррельного типа, включающий вакуумную разрядную камеру, образованную цилиндрическим диэлектрическим корпусом и двумя заземленными металлическими крышками с диэлектрическим покрытием, установленными на его торцах и выполняющими роль электродов. Через неоткрываемую крышку в камеру...

 Использование: в технологии изготовления интегральных микросхем и наноструктур различного назначения. Сущность изобретения: способ формирования многоуровневой металлизации интегральных схем включает формирование в исходной пластине с активными областями проводящего рисунка межсоединений по каждому уровню, нанесение межслойных диэлектрических покрытий и формирование межслойных соединений,...