МУХИН А.Н.

  СПОСОБ ФОКУСИРОВКИ ОПТИЧЕСКОЙ СИСТЕМЫ, преимущественно для обработки прецизионных деталей, основанный на получении рассеивающих структур, перемещающихся относительно изображения в зоне измерения.заключающийся в том, что, изменяя расстояние между оптической системой и плоскостью зоны измерения, сохраняя при этом постоянным угол падения светового луча, добиваются оптимизации размеро...

  СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ШЕРОХОВАТОСТИ ПОБЕРХНОСТИ, заключающийся в том, что луч когерентного монохроматического света направляют на исследуемую поверхность под заданным углом и анализируют интенсивность диффузной составляющей отраженного светового поля при взаимном перемещении луча и исследуемой поверхности, отличающийся тем, что, с целью расширения диапазона измеряемых высот микронеров...