КАНАРСКИЙ А.Б.

  ФОТОПОВТОРИТЕЛЬ, содержащий установленные на основании проекционную оптическую систему с объективом, координатный стол с аэростатическими направляющими для держателя полупроводниковой пластины в виде цилиндрического стакана смеханизмами его осевого и кругового перемещений и вакуумным присосом, фотодатчики фокусировки и совмещения, автоматическую систему смены и базирования промежу...