КУЖЕЛЕВ В.И.

  ФОТОПОВТОРИТЕЛЬ, содержащий установленные на основании проекционную оптическую систему с объективом, координатный стол с аэростатическими направляющими для держателя полупроводниковой пластины в виде цилиндрического стакана смеханизмами его осевого и кругового перемещений и вакуумным присосом, фотодатчики фокусировки и совмещения, автоматическую систему смены и базирования промежу...

  КООРдаНАТНОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПРОЕКЦИОННОЙ ПЕЧАТИ, содержащее координатный стол с фотопластиной, установленный с вЬзможностью перемещения на неподвижном основании по взаимно перпендикулярным направлениям и с возможностью поворота относи t тельно него, объектив, установленный на держателе, жестко закрепленном на основании, и оптически сопряженные осветители, дифракционные решетки и...