КУЗНЕЦОВ Ф.А.

  Ськзз Советскик Социалистических Республик ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ рл 683505 (61) Дополнительное к авт. сеид-ву (22) Заявлено 0903 8 (21) 2589194/23-26 с присоединением заявки11о (23) Приоритет Опубликовано р5р380 Бюллете ь М 9 Датаопубликованияописания 050380 я)м. кл. С 01 В 21/06 Государственный комитет СССР по делам изобретений и открытий (53) УДК...

  УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЭЛЕК- ОЖИДКОСТНОЙ ЭПИТАКСИИ ПОЛУПРОВОДНИSC V OV S A I , лз 11; КОВЫХ СОЕ/ЩНЕНИЙ, включающее тигель для раствора-расплава, держатель для крепления подложки, установленный с возможностью вертикального перемещения, токоподводы к подложке и тиглю и электрические изоляторы держателя и внутренней поверхности тигля, отлн.чающееся тем, что, с целью повышения однородности с...