ШЕК Е.И.

  СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ р-п-р-л СТРУКТУР в окисляющей атмосфере, включающий шлифоварку пластин п -кремния, отмывку поверхностей, нанесение на обе стороны спиртового или водного раствора азотнокислого алюминияи борной кислоты, первую термообработку при температуре диффузии, создание второй термообработкой на одной из сторон пластины п-слоя путем диффузии фосфора, отличающийся тем, что,...