РОДИОНОВ Р.А.

  СОЮЗ СОВЕТСКИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЛИК (51)5 С 23 С 14/14 ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕ. ВЕДОМСТВО СССР (ГОСПАТЕНТ СССР) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 2533479/21 (22) 07.10.77 (46) 07.06.91. Бюл, Q 21 (72) Б.Г.Грибов, А.А.Попов, Р.А.Родионов и В, Н.Тихонов (56) Данилин Б.С. Вакуумная техника в производстве интегральных схем. Энергия, М., 1972; с.113....

  Изобретение отйосится к области микроэлектроники. Цель изобретения повышение качества заготовки за счет улучшения однородности ее поверхности . С забракованных подложек фотошаблонов удаляют маскирующий слой и выдерживают их в окислительной среде, после чего подвергают дополнительной обработке в растворе едкого кали вводе с рН 10 ед с добавкой поверхностно-активного вещества в теч...

  Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано для полирования стекляннях пластин при изготовлении фотошаблонов . Цель изобретения - повьппение качества обработки стеклянных изделий. Цель достигается за счет использования в суспензии следующих компонентов , Mac.Z: двуокись церия с удельной поверхностью 5 10 -2-10 10-55, поверхностно-активное вещество , выбр...

  СОЮЗ СОВЕТСНИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ РЕСПУБЛИК „.SU„„1420933 А1 (51) 5 С 09 С 1/02 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТ H АВТОРСКОМУ, СВИДЕТЕЛЬСТВУ улучшить качество поверкности стекляннык пластин за счет способа получения суспензии смешением порошка оксида церия IV с водой, отделением частиц размером более 4 мкм, введением сернокислого цинка в количестве 0,005-0,01 мас.X от массы отфильтрованной...