АСАЛХАНОВ ЮЛИЙ ИННОКЕНТЬЕВИЧ

  ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ИЯ К АВТОИЖОММ СВИДВТИЗЬСТВУ Еае3 Сееететтих Cî õ Рес ублвтк Н 05 К 13/02 Гввудвретввнный квмнтвт ссср нв двлам нзвбрвтвннй.н вткрмтнй Опубликовано 25.11.79. Бюллетень №43 Дата. опубликования описания 30.11.79 (53) УДК631.733.. 14 (088.8) (72) Авторы изобретения Ю. И. Асалханов и Х. Д. Ламажапов (?1) Заявитель Восточно-Сибирский технологический инстит...

  СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ВАКУУМА путем измерения изменения сопротивления полупроводникового датчики, вызванного адсорбцией на поверхности его чувствительного элемента, отличающийся тем, что, с целью повышения чувствительности , в процессе измерения на поверхность чувствительного элемента полупроводникового датчика направляют пучок медленных электронов, и по величине полного тока в цепи ч...

  Изобретение относится к электронной технике. Устройство для позиционирования образца в вакуу.ме содержит вакуумную ка меру с вводом движения с гибким уплотнительным элементом 1 (сильфоном), на котором закреплен стакан (С) 2 с узлом 3 позиционирования и установочным гнездом 4. В полости С 2 установлен термоэмиссионный нагреватель 6, размещенный на стержне 7 из термостойкого электр...

  Изобретение относится к устройствам для обработки полупроводниковых материалов и может быть использовано при подготовке образцов полупроводниковых монокристаллов с атомарно-чистой поверхностью . Цель изобретения заключается в повышении надежности работы устройства. Для этого оно снабжено размещенным в вакуумной камере корпусом 1, в котором установлен держатель кристалла 2. выполн...

  Изобретение относится к физической оптике и может быть использовано для измерения температуры поверхности пластин монокристаллов, в частности монокристаллического кремния. Целью изобретения является расширение диапазона измеряемых температур путем смещения его нижнего предела и повышение точности. Для этого на предварительно отполированную и очищенную от оксидных пленок и адсорби...

  Использование: изобретение относится к электронной оптике и может быть использовано для получения пучка медленных моноэнергетических электронов, в частности при измерении контактной разности потенциалов твердых тел по методу Андерсона Сущность изобретения: электронная пушка содержит катод 1, эмитирующий пучок медленных моноэнергетических электронов, электроды (Э) 10, 12, 13, 14,...

  Использование: физическая оптика и может быть использовано для регистрации времени установления равновесного состояния адсорбированных молекул на поверхности полупроводниковых материалов. Сущность: для этого на поверхность исследуемого полупроводникового материала (ИПМ), помещенного в вакуум, направляют луч линейно поляризованного света (С) под углом на 1 -2° меньше главн...