МИКУЛИН А.И.

  УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЬ1ТИЯ в вакууме, содержащее соосно расположенные мишень, источник заряженных частиц, кольцевой анод и подложкодержатель, отл ичаю.щеес я тем, что, с целью повышения качества покрытия, оно снабжено электромагнитной катушкой, охватывающей кольцевой анод. союз советских СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ .РЕСПУБЛИК (Я)5 С 23 С 14/34 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ ПО ИЗОБРЕТ...