ДЖЕМИЛЕВ Н.Х.

  СПОСОБ ВТОРИЧНО-ИОННОЙ МАСС-СНЕКТРОМЕТРИИ ПОВЕРХНОСТИ ТВЕРДОГО TEJIA, основанный на облучении твердого тела ускоренными первичными ионами с последующим масс-спектрометрическим анализом эмиттированных вторичных ионов, отличающийс я тем, что, с целью повышения точности анализа, исследуемый образец в виде пленки толщиной 100-1000 А бомбардируют первичными ионами в диапазоне энергий 1...