ГРИЦАЕНКО П.Г.

  СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИНЖЕК- ЦИОННЫХ ЛОГИЧЕСКИХ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ, включающий эпитаксиальное наращивание пленки кремния на подложке, термическое окисление, нанесение пленки нитрида кремния, фотогравировку под базовые и инжекторные области, диффузионное легирование, фотограбировку и диффузионное легирование коллекторных областей, вскрытие контактных окон и форг^ирование металлизации,...