Матусевич В.В.

 (19)SU(11)716427(13)A1(51)  МПК 5    H01J9/14(12) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯк авторскому свидетельствуСтатус: по данным на 17.12.2012 - прекратил действиеПошлина: (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИНТЕГРАЛЬНЫХ МИКРОСХЕМ Предлагаемый способ относится к электронной технике и может быть использован в производстве интегральных микросхем, катодно-подогревательных узлов и управля...