ЛОЩИНИН М.Б.

  СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ДВУХСЛОЙ- ! НЫХ СТРУКТУР НА ОСНОВЕ СПЛОШНЫХ СВЕРХТОНКИХ ПЛЕНОК, включающий нанесение в вакууме основного слоя толщиной, меньшей критической толщины сплошности, и нанесение дополнительного слоя, отличающийся тем, что, с целью повышения качества сверхтонких пленок, дополнительный слой наносят через промежуток времени, меньший времени морфологической релаксации перво...