ШАЛАЕВ ВАЛЕРИЙ КОНСТАНТИНОВИЧ

  1 ВСасрв р йаТЯЯ19 фВФ .Ж)ЦФ fja ЦфА (щ721429 О П И С А Н-Й-Е ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз Советскнк С оцналнстнческнк Реслублнк Ф еЕ :бг с (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 180777 (21) 2507291/23-04 с присоединением заявки Ио— (23) Приоритет Опубликовано 150380. бюллетень 9 10 (5М)М. Кл. С 07 Р 263/62 С 07 0 41 3/10// С 09 К 11/06 Государственный комитет СССР по л...

  Область использования: фотолитографические процессы. Сущность изобретения: негативный фоторезист содержит, г: синтетический циклизованный изопреновый каучук 24,9-65,0; 2,6-бис(4 -азидобензаль)-4-метилциклогексанон 1,0-4,5; ксилол 140,0-200,0. Указанный каучук имеет средневесовую ММ 48000-65000, среднечисловую ММ 15000-20000, степень циклизации 100%. Снижается микронеровность форм...