ЩЕРБИНА ИВАН НИКОЛАЕВИЧ

  . и э м х .у, ; нчдс>:,. ° >- Yья м{т „ Ф :эч Ф ({,л )ф,,: Ei ц 7243! 7 ОПИСАНИЕ Союз Советских Социалистических Республик ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 09.1).76 (21) 2418506/25-08 с присоединением заявки ¹â€” (23) Приоритет (43) Опубликовано 30.03.80. Бюллетень № 12 (45) Дата опубликования описания 30.03.80 (51) M....

  Союз Советских Социалистических Республик

  1.УСТАНОВКА ДЛЯ ХИМИЧЕСКОЙ ОБРАЮТКИ ИЗДЕЛИЙ, преимущественно слитков полупроводниковых материалов, содержащая ряд ванн для. рабочих растворов , установленных по кругу, карусель с механизмаьш вертикального перемещения и вращения кассет, механизм поворота карусели, систему подачи и слива рабочих растворов и вытяжную вентиляцию, отличающаяся тем, что, с целью повы шения ее надежност...

  КАССЕТА ДЛЯ ЖЦЦКОФАЗНОЙ ОБРАБОТКИ ПОВЕРХНОСТИ ПОДЛОЖЕК, содержащая корпус с осевым отйерстием, основание с пазами для размещения подложек и фиксатор для их крепления , отличающаяся тем, что, с целью повышения эффективности обработки и защиты поверхности подложек от загрязнений в межоперационный период, основание кассеты выполнено в виде параллельно расположенных распределяющих тр...

  Изобретение относится к области станкостроения и может быть использовано в производстве полупроводниковых материалов. Цель изобретения - создание регулируемой нагрузки на обрабатываемую деталь. Устройство содержит кассету 1, цилиндр 2 с вакуумной магистралью 3, шток 4, на который подвижно установлены кольца 5 и 6 с уплотнениями 7, 8,и 9, гильзу 10 и клапан 11. Шток 4 и кольца 5 и...